锐科环宇

离子注入机剂量控制系统

半导体芯片测试

首页〉业务板块〉应用案例
离子注入机剂量控制系统

离子注入机剂量控制系统

系统功能

  • 1.实时测量离子束电流
  • 2.计算被注入器件离子束累加剂量，控制离子注入完成时间
  • 3.精确控制工艺腔内扫描盘转动完成离子注入工艺
  • 4.精确控制离子束注入角度，保证离子束注入质量

技术特点

  • 1.芯片制造中核心关键设备子系统国产化平替
  • 2.搭载实时操作系统，保证离子注入工艺稳定可靠
  • 3.高精度剂量测量与实时计算累计剂量
  • 4.系统灵活度高，剂量控制系统完美适配高能离子注入机、中束流离子注入机、大束流离子注入机
返回业务板块