系统功能：
实时测量离子束电流；
计算被注入器件离子束累加剂量，控制离子注入完成时间；
精确控制工艺腔内扫描盘转动完成离子注入工艺；
精确控制离子束注入角度，保证离子束注入质量；
技术特点：
芯片制造中核心关键设备子系统国产化平替；
搭载实时操作系统，保证离子注入工艺稳定可靠；
高精度剂量测量与实时计算累计剂量；
系统灵活度高，剂量控制系统完美适配高能离子注入机、中束流离子注入机、大束流离子注入机；
